月產能64.1萬片:臨港成中國最大晶圓製造基地
由上海臨港經濟發展(集團)有限公司主辦,臨港科技、ASPENCORE承辦的「2023中國臨港國際半導體大會」在上海臨港正式召開。在會議上,臨港新片區黨工委副書記吳曉華、臨港集團黨委書兼總裁翁愷寧、臨港新片區投資促進服務中心主任顧長石等相關領導詳細介紹了臨港的集成電路產業的發展情況。
據介紹,2022年臨港新片區規上工業產值達到了3482億元,年增30.5%,約佔全市總量的8.8%;全社會固定資產投資達到了1325億元,年增31.1%,約佔佔全市總量的13.8%;地區生產總值1017億元(GDP),年增21.2%;稅收總收入達475.01億元,年增35.7%。
港新片區投資促進服務中心主任顧長石表示:「臨港新片區的目標是到2035年GDP要達到1兆元,依照臨港2019年的資料基礎,每年的複合成長率不低於25%就能實現這個目標。所以我們臨港新片區設立四年多以來,在上海經濟發展過程中增長發動機的作用是非常明顯的。”
△臨港新片區投資促進服務中心主任顧長石
從臨港發展積體電路產業的整體定位來看,主要分為三個面向:
1.成為上海積體電路產業雙核驅動的新引擎(張江、臨港雙區連動);
2.成為中國積體電路產業自主創新的橋頭堡:圍繞先進製程、特色製程、核心設備、EDA工具,材料等等;
3.成為世界級積體電路產業群聚的承載地:積極融入全球積體電路產業鏈、創新鏈、價信鏈,建構集設計、高端製造、設備材料先進封測於一體的全產業鏈集聚區。
從目前臨港新片區的積體電路產業發展現況來看,已集聚成電路相關企業230家,已簽約專案總投規模近3,000億元,已簽約專案固定資產投資規模超1,200億元;
建構了集設計、高端製造、裝備、材料、先進封測、晶片貿易於一體的全產業鏈聚集地,其中積體電路製造覆蓋了成熟特色製程、先進邏輯製程及化合物半導體製造。
具體來說,在晶片設計方面,港口已經引進了人工智慧晶片、戰略晶片、車規級晶片,第三代半導體元件研發設計企業,相繼落地了地平線、寒武紀、芯源、華大九天、百度崑崙芯等150多家國內優質晶片設計企業及頭部EDA及IP企業。
臨港新片區黨工委副書記吳曉華表示:「在2019年初,臨港一共不到40家積體電路企業,其中生產型只有4家,其他都是和設計相關,短短四年時間裡,又增加了200來家,表明了我們臨港新片區的吸引力。”
△臨港新片區黨工委副書記吳曉華
在晶片製造方面,臨港的晶片製造業有兩個特點:
第一個是晶片製造規模大。經過測算,目前臨港的積體電路晶圓製造能力,總的規劃產能是64.1萬片12吋晶圓/月。其中,已經投產的大概16萬片12吋晶圓/月,16萬片12吋晶圓產能已經開工,同時還有32萬片12吋晶圓產能已獲得批准。
預計到2025年臨港12吋產線合計將達8條,產能規模(折算12吋晶圓)合計超66萬片/月;其中已建成規模超10萬片/月,在建規模13萬片/月,待建規模超42萬片/月(含積塔4萬片、中芯國際10萬片、格科微6萬片、聞泰科技6萬片、舜宇光學8萬片等)。
第二個是種類齊全。在工藝方面,有中芯國際的先進邏輯工藝,有積塔半導體、聞泰科技、格科微、昂瑞威等企業的特色工藝,更有第三代化合物半導體的工藝。
「臨港的這個晶圓製造產能規模肯定中國最大的,甚至我是感覺在世界上也是有一席之地的。臨港的積體電路種類也是非常的齊全。這兩個特點,我相信在國內其他任何地方都是找不到的。」臨港新片區黨工委副書記吳曉華說。
在半導體封測方面,原來是臨港的短板,但是隨著引進了長電科技、華天封測以後,補齊了臨港在積體電路封測方面的短板。
在半導體材料方面,臨港已經落地了上海新昇、天嶽先進、江峰電子、JSR等40多家積體電路材料企業,種類也是比較齊全的,涵蓋了半導體矽片、光阻、基板、靶材等等,且部分積體電路關鍵材料、製程在臨港已經實現自主可控。
例如在12吋大矽片方面,已經建成60萬片產能,同時還有40萬片已經獲得批准,如果全部建成情況下每個月可達100萬片的規模;比如在碳化矽基板材料方面,天嶽在臨港碳化矽的生產能力是非常強的,50萬片的6吋產能已經全部投產了,同時還在佈局8吋碳化矽產線。
在半導體設備方面,臨港落戶的核心裝備廠商現在已經涵蓋了光刻、塗膠、顯影、蝕刻、沉積、離子注入、清洗、電鍍等等眾多環節。後面臨港還要重點支援一些高階的蝕刻、清洗、離子注入這些核心設備,應該說門類越來越齊全。
而為了滿足晶圓製造及半導體材料廠商對於廠房的高要求,臨港集團也是做足了準備。
據臨港集團黨委書兼總裁翁愷寧透露,「圍繞企業共性和個性的需求,臨港建設了近20萬平方米的集成電路專業廠房,同時為聞泰安世、JSR等項目量身定制了電子廠房。同時也建造了近100萬平方多用途、強兼容的機電類通用廠房,為產業提供優質的承載空間。”
△臨港集團黨委書兼總裁翁愷寧
同時,在研發賦能方面,臨港集團旗下的科技城園區內已集聚了一大批創新平台和高校科研院所賦能產業,包括上海電力電子研究院、上海臨港汽車半導體研究院、臨港智慧系統關鍵技術科技創新平台、香港積體電路材料研究院等。
在企業融資方面,臨港也設立了多支特色產業基金,主要是圍繞人工智慧、數位科技、電子資訊等前沿領域設立產業投資基金,強化招投連動、投招連動,先後投資引進了瀾起、商湯、鯤遊光電、全芯半導體等一批優質企業。
據臨港新片區投資促進服務中心主任顧長石介紹,目前臨港的產業投資基金規模高達300億元,已經累計支持了178起融資、涵蓋了158家企業、融資規模超過了230億元。
同時,臨港也打造特色孵化器和孵化基金,例如,聚焦汽車半導體和電力電子,打造了司南半導體超級孵化器,組成司南孵化基金,持續加速企業的成長。
在服務配套方面,港口透過先租後售的公租房、人才公寓、藍領公寓,持續完善教育、商業、醫療、交通等配套服務,努力將臨港打造成為創新創業的樂土和宜居宜業的家園。例如,提供安家補助、租屋補貼、購屋補貼,興建12年制的滴水湖學校等,目前籌備組已經到位,預計2025年可以招生。
對於臨港的積體電路產業的下一階段目標,據臨港新片區投資促進服務中心主任顧長石介紹,今年前三季度,臨港積體電路產業的產值已達140億元,目標是2025年突破500億元的產值,服務業規模突破500億元產值,初步形成自主可控、全鏈佈局的「東方芯港」基本框架。
「港不是臨港人的臨港,臨港是上海的臨港、中國的臨港、世界的臨港。我們港人的責任就是為大家搭建一個創新創業的舞台。同時臨港人廣撒英雄帖,歡迎各路英雄,特別是集成電路的英雄在臨港這個舞台上展示自己的才華,為中國集成電路事業發展作出各自的貢獻,我相信這是我們共同追求的目標和共同的理想。」臨港新片區黨工委副書記吳曉華總結。