7nm高階DUV買不少ASML:今年基本交付中國客戶預付光刻機積壓訂單
ASML(阿斯麥)CEO在2023 Q3業績電話會上表示,今年基本交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單。不過,疊加出口管制新規,公司明年DUV收入將會減少,總銷售收入可能會下降。這位CEO還表示,“受可再生能源、電動車、工業物聯網、電信基礎設施等領域龐大投資驅動,中國大陸對次關鍵和成熟過程的需求將會很大。” 今年9月初的時候,ASML已經表示,取得荷蘭官方的允許,在今年底前向中國客戶出口其部分先進工具。根據ASML的說法,在2023年的剩餘時間裡,ASML將能繼續出貨其NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品,這些產品從9月1日起就受到限制。至於2024年是不是可以繼續,ASML則表示暫時不能確定。根據ASML官網提供的訊息,該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。ASML官網上關於這一台TNXT:1980Di介紹,在分辨率方面,寫到是大於等於38nm(可以支援到7nm左右),而這是指一次曝光分辨率,事實上光刻機是可以進行多次曝光。