台積電的5nm芯片製程工藝，在去年一季度投產，開始為相關的客戶代工芯片，並在三季度為他們帶來營收，營收也達到了預期，貢獻了台積電去年營收的8%。隨著量產時間的延長，芯片廠商對台積電5nm工藝的需求也越來越高，台積電也在不斷提高他們5nm工藝的產能。

產業鏈人士透露，台積電5nm製程工藝的月產能，在去年四季度達到了9萬片晶圓，在今年上半年仍將繼續提升，將提升到每月10.5萬片晶圓。

這一產業鏈人士還透露，上半年提高之後，台積電在下半年仍將繼續提高5nm工藝的月產能，計劃在下半年提升至每月12萬片晶圓。

從此前相關媒體的報導來看，台積電目前主要是在晶圓十八廠，利用5nm工藝為相關的客戶代工芯片。晶圓十八廠是台積電專為5nm工藝量產而投資建設的工廠，在2018年動工，一期在2020年初大規模投產，二期也在2020年投產，三期計劃在今年一季度投產，三期工廠投產之後，這一工廠5nm工藝的年產能，預計超過100萬片12英寸晶圓。