去年的一波半導體熱潮，讓光刻機成了香餑餑。不過，依照ASML（阿斯麥）、尼康、佳能三家公司的官方數據整理得知，去年全球光刻機總銷售量為413台。其中ASML銷售258台佔比62%，佳能銷售122台佔比30%，尼康銷售33台佔比8%。

不過按照銷售額來計算的話，因為最昂貴的EUV只有ASML製造銷售，所以總的份額佔比依次是91%、3%、6%。

從光刻機類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i-line（份額69%）。當然，ASML在各種類型的光刻機上都有涉獵，除了i-line，幾乎每種類型都是絕對龍頭。

有分析機構表示，參考ASML單價，估計全球光刻機市場規模在2020年達到了130多億美元，同比增長20%以上。