光刻機製造商阿斯麥的報告顯示，在今年的一季度，他們共接到了客戶的73台光刻機訂單，其中11台是極紫外光刻機。從報告來看，阿斯麥一季度接到的73台光刻機訂單中，有72台將是新生產的光刻機，另外1台則是翻新的光刻機。

阿斯麥在報告中還披露，他們一季度接到的73台光刻機，訂單金額高達30.85億歐元。

從光刻機訂單的數量和金額來看，阿斯麥今年一季度的表現要明顯好於上一季度和去年同期。去年四季度，阿斯麥接到的光刻機訂單是共有60台，訂單金額24.02億歐元；2019年一季度新增的光刻機訂單則是34台，金額13.99億歐元。

在芯片工藝提升到5nm之後，就只有極紫外光刻機能滿足需求，阿斯麥是目前全球唯一一家能生產極紫外光刻機的廠商，在報告中，他們也有披露一季度這一類光刻機的訂單狀況。

在報告中，阿斯麥披露，他們今年一季度新接到了11台極紫外光刻機訂單，訂單金額為15億歐元，占到了他們一季度新增訂單金額的近一半。