DigiTimes在一份報告中稱，三星3nm工藝量產時間可能已經延期至2022年。三星原計劃2021年初量產3nm，但受疫情影響，三星預期時間可能已經延期至2022年，業內消息人士指出，這並非工藝製造上的延遲，而是因為EUV光刻機等關鍵設備在物流上的延遲所致。

三星早在去年就宣布了3nm GAE工藝，將在3nm節點放棄FinFET晶體管，轉向GAA環繞柵極晶體管工藝，比7nm工藝，3nm GAE工藝號稱可將核心面積減少45%，功耗降低50%，性能提升35%。

而三星最大對手台積電也因為疫情原因半導體裝備及安裝人員都無法按期完成，原計劃在6月份風險試產的3nm FinFET工藝，試產時間將延期到10月份。

相應地，台積電南科18廠的3nm生產線也會順延一個季度，原本在10月份安裝設備，現在也要到2021年初了。