台積電回應上萬片晶圓被污染:光阻原料所致,不影響業績
去年台積電的晶圓廠爆出了電腦病毒事件,導致旗下多個晶圓廠停工,最終損失26億新台幣,雖然損失比之前預期的少很多,對全年基本沒影響,但是生產安全事故對台積電的形像很不利。前兩天台積電又爆出了晶圓污染事件,損失尚無明確統計,此前說是上萬片晶圓被廢,最誇張的報導則說有9萬片晶圓被污染,損失高達200億新台幣。
對於這個問題,台積電方面昨天發表公告,稱出問題的主要是一批光阻原料,台積電已經跟客戶做了溝通,這件事暫時不會影響Q1季度業績,Q1產能追不回來也會在Q2季度追回來。
半導體芯片的生產製造是個複雜的過程,除了需要光刻機、蝕刻機等設備之外,還需要大量的半導體材料,其中最高的就是大矽片,也就是生產晶圓芯片的基礎,它能佔到半導體材料市場價值的1/3,還有就是工廠所用的高純度氣體、光罩及光阻材料,所以光阻材料在整個半導體材料中佔比還是很靠前的,2016年統計數據顯示光阻材料佔半導體材料市場的5%份額。
台積電這次的晶圓污染就出在光阻材料上,台積電他們本月19日就發現南科的Fab 14B晶圓廠的12nm、16nm工藝良率出了問題,排查後發現問題出在光阻材料上,這批原料是他們合作多年、經驗豐富的廠商,之前一直沒有問題,但這批材料的規格與過去有相當大的差距。
台積電沒有公佈這家原料供應商的名字,不過他們的光阻原料主要來自日本信越、日本JSR與美國陶氏化學,目前還不確定是這三家中的哪一家或者是還有別家供應商。
至於這次晶圓污染導致的影響,台積電方面表示出事之後已經立即停用這批原料,並通知受到影響的客戶,過去10天中已經跟客戶密切溝通,具體到了補貨及交付日期等細節問題。台積電根據目前的12/16nm產能利用率表示Q1季度就能追回大部分損失產能,即便Q1無法補回,Q2季度也會追回來,重申此單一事件還不會影響Q1季度的財報預測。