晶圓代工龍頭廠台積電位於南科的晶圓廠，受地震影響的機台設備移位、晶圓破損經過搶修後，供應鏈傳出，3、 5奈米的先進製程晶圓十八廠，預計23日達100%復機，準備恢復正常生產，晶圓十四廠復機還沒有明確時間表。

元月21日凌晨台灣發生芮氏規模6.4地震，台積電位於南科的晶圓廠區測得最大震度為5級，影響最大，為了確保人員安全，廠區依公司內部程序啟動相關安全預防措施，第一時間進行人員疏散，並於凌晨1時許全數完成清點，確定人員皆安全無虞，各廠區也完成建築震後損害檢查，確認結構安全無虞。

台積電確認人員與廠房安全無虞，震後立即召集生產線人員、設備等供應商，搶修機台設備移位、晶圓破損等後續善後工作。供應鏈指出，3、5奈米的先進製程晶圓十八廠，為新建晶圓廠，防震係數高，估計設備移位等影響數約達3-4成，「機台影響不輸去年0403地震”，盤點十八A、十八B廠破損晶圓約超過2.5萬片至3萬片之間。

台積電12吋晶圓十四廠建築物屋齡較久，生產成熟過程，震損也不輕，供應鏈傳出，估計有一半機台設備受影響，十四A與十四B廠破損的報廢晶圓共超過3萬片。晶圓十八廠與晶圓十四廠整體損失恐直追0403地震達30億元以上。

供應鏈傳出，台積電預計晶圓十八廠預計23日達100%復機，準備恢復正常生產。晶圓十四廠還在全力搶救中，目前還沒有復機時間表。

台積電先前聲明，安全無虞

嘉義大埔21日凌晨發生6.4級地震，且餘震不斷。經濟部盤點嘉義、台南產業園區內無災損情形、將啟動水庫特別檢查；台積電也發布最新聲明指出，部分中部及南部廠區第一時間進行疏散，廠區人員、建築結構皆安全無虞。

台積電指出，公司位於南部科學園區的晶圓廠區測得最大震度為5級、中部科學園區廠區最大震度為4級、新竹科學園區晶圓廠區（含龍潭及竹南）最大震度為3級，已啟動相關安全預防措施。

台積電錶示，部分中部及南部廠區在第一時間進行人員疏散，凌晨1時許全數完成清點、人員皆安全無虞，各廠區也完成建築震後損害檢查，確認結構安全無虞逐步迴線；目前各廠區供水、電力、工安系統及營運正常，各項細部檢查與詳細影響評估作業持續進行中。

隨後，台積電發布聲明表示，各廠區已完成建築震後損害檢查，確認結構安全無虞逐步迴線。同時，本公司建廠工地未受影響，於震後環境安全檢查後今日照常施工，強調各廠區供水、電力、工安系統及營運正常。

台積電聲明還稱，該公司位於南部科學園區的晶圓廠區測得最大震度為5 級、中部科學園區廠區最大震度為4 級、新竹科學園區晶圓廠區（含龍潭及竹南）最大震度為3級。

為確保人員安全，地震發生後各廠區依公司內部程序啟動相關安全預防措施，部分中部及南部廠區在第一時間進行人員疏散，並於凌晨1 時許完成清點確定人員皆安全無虞，各廠區也已經完成建築震後損害檢查，確認結構安全無虞逐步迴線。