敲定光刻機開發合作夥伴俄羅斯提供百億盧布信貸支持
據俄羅斯媒體報導稱,為了推進自研光刻機進度,其已經敲定了相關的合作夥伴。據悉,俄羅斯方面將為兩大白俄羅斯微電子領域項目提供約100億盧布信貸支持,受資助企業包括集成電路成套工藝領域的Integral和精密光刻設備領域的Planar。
白俄羅斯方面還透露,已經簽署了關於建立兩國光掩模開發和生產聯合中心的協議。”這將使我們能夠開展聯合開發工作並減少白俄羅斯和俄羅斯消費者對進口供應的依賴”。
白俄羅斯官員強調,這種合作對俄羅斯聯邦和白俄羅斯共和國都是互惠互利的。明斯克和莫斯科在進口替代領域的項目將在規定的時限內完成。
資料顯示,Planar公司(KBTEM-OMO)是東歐最大的半導體設備供應商,已有50餘年的半導體設備研發與製造歷史,其產品包括基於激光直寫的圖形發生器、掩模檢測設備、掩模修補設備、接近/接觸光刻機、投影光刻機與硅片檢測設備等。