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Intel將衝擊1nm工藝:用上下一代EUV光刻機

Intel將衝擊1nm工藝:用上下一代EUV光刻機

2023-02-13 Comments 0 Comment

作為摩爾定律的提出者,Intel也是最堅定的摩爾定律捍衛者,多次表示半導體工藝還會繼續提升下去,在現有4年掌握5代CPU工藝之後,Intel還啟動了未來兩代的CPU工藝研發,目標逼近1nm了。

Intel的5代CPU工藝分別是Intel 7、Intel 4、Intel 3、Intel 20A及Intel 18A,其中Intel 7在2021年的12代酷睿上首發了,Intel 4會在下半年的14代酷睿上首發,還會首次用上EUV光刻工藝。

Intel 3是Intel 4的改良版,Intel 20A及之後的18A則是重大升級,相當於友商的2nm、1.8nm節點,將在2024年上半年及下半年量產,2025年將重新奪回半導體工藝的領導地位。

再往後呢?Intel目前的路線圖上沒有提到新的工藝,不過最新消息稱Intel已經啟動了未來兩代工藝的定義及研發,但沒有明確的信息。

根據IMEC之前公佈的芯片工藝路線圖來看,2nm工藝之後是14A,也就是1.4nm工藝,預計2026年問世,再往後就是A10工藝,也就是1nm,2028年問世。

Intel要研發的未來兩代工藝應該也是1.4nm、1nm級別的,具體的命名還要等官方確定,畢竟時間還早。

2nm以後的工藝還要升級裝備,當前的EUV光刻機屆時效率也不高了,ASML預計會在2026年推出High NA技術的下一代EUV光刻機EXE:5000系列,將NA指標從當前的0.33提升到0.55,進一步提升光刻分辨率。

不過下代EUV光刻機的成本也會大漲,當前售價在1.5億美元左右,下代價格輕鬆超過4億美元。

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