在光刻機市場上，最近十多年來荷蘭ASML公司一家獨大，EUV光刻機中更是獨一份，10億一台的價格都供不應求，而傳統的光刻機大廠日本佳能、尼康已經被甩開，不過尼康已經制定策略，重點放在3D光刻機上。

據報導，日本尼康公司提出新的目標，希望2025財年（2025年3月到2026年3月）期間，尼康的光刻機銷量能提升到2019-2021財年的2倍以上。

日本光刻機廠商已經沒可能在EUV光刻機上搶市場了，但尼康重點放在了能夠生產3D芯片的光刻機上，明年將推出支持3D閃存、圖像傳感器的沉浸式ArF光刻機，這會是未來銷量翻倍的殺手鐧。

根據ASML、Canon佳能、Nikon尼康2020年的數據，全球光刻機銷量413 台，同比增長15%，按季度依次是95台、95台、97台、126台，分別同比增長19%、25%、8%、12%。

2020年413台光刻機中，ASML銷售258台佔比62%，佳能銷售122台（KrF、i-line）佔比30%，尼康銷售33台佔比8%。

如果是按銷售額計算，ASML、佳能、尼康的光刻機銷售額佔比依次是91%、3%、6%，日本兩家公司佔比也不到10%，ASML近乎壟斷。