英特爾愛爾蘭Fab 34芯片製造工廠迎來首台EUV光刻機
上週,芯片巨頭英特爾在位於愛爾蘭Leixlip 的Fab 34 工廠,完成了首台極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前,該公司才開始在該晶圓廠安裝首台芯片製造設備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)製造的這台EUV 光刻機,先是被運到了美國俄勒岡州的Hillsboro,接著又被轉運到了歐洲。
視頻截圖(來自:Intel Ireland)
目前尚不清楚英特爾為何要讓這台機器繞地球這麼一大圈,一種猜測是英特爾在俄勒岡州進行了早期檢測、以確保光刻機符合該公司的嚴格要求。
此外預計這台機器是安裝在愛爾蘭Fab 34 工廠中的第一台EUV 光刻機,並作為英特爾7nm(Intel 4)工藝技術的關鍵推動者。
前沿技術登陸Leixlip(via)
據說這套設備總共動用了4 架未知型號的波音飛機來空運,然後由35 輛卡車陸運至Fab 34 。
最後,英特爾官方透露,自去年12 月以來,這些“工具”已分批發送,但直到最近才完成組裝。