荷蘭ASML（阿斯麥）公佈了光刻機產品的最新進展。其中TWINSCAN NXE:3600D作為其目前研發中的最先進光刻機系統，終於敲定最終規格。具體來說，30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，並改進機器匹配套準精度至1.1nm。

3600D定於2021年中旬出貨交付，客戶還需要一定時間等待，價格應該不會低於現款老型號的1.2億美元。

目前，ASML已經投產的最先進光刻機是3400C，但主力出貨型號是3400B。參數方面，3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小時可曝光125片晶圓。

另外，ASML透露，3400B在三季度也完成了軟件升級。全新的DUV光刻機TWINSCAN NXT:2050i已經在三季度結束驗證，四季度早期開始正式出貨。

據悉，在截止9月30日的單季度，ASML共獲得60台光刻機收入，出貨了10台EUV光刻機。