ASML:廣泛理解從荷蘭向中國客戶提供光刻機無需出口許可證
對於我國的芯片行業而言,更為先進的光刻機的確是個很大逾越的障礙,而全球的設備也都來自ASML。ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻採訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業務情況,其表示一些情況下,出口光刻機是不需要許可證的。
Roger Dassen指出,ASML了解美國當局目前的規章制度及其解釋,當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關,但如果廣泛的來理解其規章制度對ASML的總體含義(對於特定的中國客戶),則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統,且無需出口許可證。
不過,如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統,ASML則需要為此申請出口許可證。
在這之前ASML還公佈了光刻機產品的最新進展,3600D是其目前研發中的最先進光刻機系統,於2021年中旬出貨交付,其30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓,提高了18%的生產率,並改進機器匹配套準精度至1.1nm。