台積電2nm細節公佈:效能提升15% 功耗降低35%
根據計劃,台積電最新的N2(2nm)製程將於明年下半年開始量產,目前台積電正在盡最大努力完善該技術,以降低可變性和缺陷密度,從而提高良率。不久前,一位台積電員工最近對外透露,該團隊已成功將N2測試晶片的良率提高了6%,為公司客戶「節省了數十億美元」。而根據最新的爆料稱,台積電N2目前的良率已經達到了60%。不過這些資訊尚未進一步證實。
而在上週於美國舊金山舉行的IEEE 國際電子設備會議(IEDM)上,台積電研發和先進技術副總裁Geoffrey Yeap揭露了更多有關其N2製程製程的細節。
據介紹,N2製程在相同電壓下可將功耗降低24% 至35%,或將效能提高15%,電晶體密度比上一代3nm 製程高1.15 倍。而這些指標的提升主要得益於台積電的新型全環繞柵極(GAA)奈米片電晶體,以及N2 NanoFlex 設計技術協同優化和其他一些增強功能實現的。
其中,全環繞柵極奈米片電晶體可讓設計人員調整其通道寬度,以平衡性能和功率效率。
Geoffrey Yeap進一步解釋稱,N2是台積電“四年多的勞動成果”,今天的FinFET 晶體管的核心有一個垂直的矽片,而全環繞柵極奈米片晶體管有一堆狹窄的矽帶。這種差異不僅提供了對流經裝置的電流的更好控制,還允許工程師透過製造更寬或更窄的奈米片來生產更多種類的裝置。 FinFET只能透過乘以裝置中的翅片數量來提供這種多樣性,例如具有一個、兩個或三個翅片的裝置。但全環繞閘極奈米片為設計人員提供了介於兩者之間的漸變選擇,例如相當於1.5 個翅片或任何可能更適合特定邏輯電路的東西。
台積電將該技術稱為Nanoflex,允許在同一晶片上使用不同的奈米片寬度建構不同的邏輯單元。即由窄元件製成的邏輯單元可能構成晶片上的通用邏輯,而那些具有更寬奈米片、能夠驅動更多電流和更快開關的邏輯單元將構成CPU 核心。
簡單來說,該技術使設計人員能夠開發具有最小面積和更高功率效率的窄單元,或為最佳性能而優化的寬單元。該技術還包括六個電壓閾值電平(6Vt),範圍為200mV,使用台積電第三代基於偶極子的整合實現,同時具有n 型和p 型偶極子。
N2 製程在製程和裝置層面引入的創新不僅旨在透過細化片材厚度、接面、摻雜劑活化和應力工程來提高電晶體驅動電流,還旨在降低有效電容(Ceff) 以實現一流的能效。總的來說,這些改進使N 型和P 型奈米片電晶體的I/CV 速度分別提高了約70% 和110%。
與FinFET 電晶體架構相比,N2的全環繞閘極奈米片電晶體在0.5V 至0.6V 的低電源電壓範圍內可提供明顯更好的每瓦性能,其中製程和設備優化將時脈頻率提高了約20 %,並在0.5V 工作時將待機功耗降低了約75%。此外,整合N2 NanoFlex 和多閾值電壓(multi-Vt) 選項,為高邏輯密度的節能處理器提供了額外的設計靈活性。
台積電N2的電晶體架構和DTCO 優勢直接影響SRAM 可擴展性,而近年來,前沿節點很難實現這一點。
借助N2,台積電成功實現了創紀錄的約37.9Mb/mm² 的2nm SRAM 密度。而根據最新曝光的資料顯示,Intel 18A的SRAM密度約為31.8 Mb/mm² ,顯然台積電N2的SRAM密度較高。同時也比N3過程提高了11%。而N3僅比自己的前代提高了6%。
除了創下創紀錄的SRAM 密度外,台積電N2也降低了其功耗。由於GAA 奈米片電晶體具有更嚴格的閾值電壓變化(Vt-sigma),因此與基於FinFET 的設計相比,N2 的大電流(HC) 宏的最小工作電壓(Vmin) 降低了約20mV,高密度( HD) 巨集的最小工作電壓(Vmin) 降低了30-35mV。這些改進使SRAM 讀寫功能穩定到大約0.4V,同時保持穩健的良率和可靠性。
除了新的電晶體外,台積電N2還採用了全新的無屏障的全鎢中間線(MoL,middle-of-line)層、後端佈線(BEOL,back-end-of-line) 和遠BEOL 佈線,將電阻降低了20% 並提高了性能效率。 N2 的MoL 現在使用無障礙鎢絲,將垂直閘極接觸(VG) 電阻降低了55%,並將環形振盪器的頻率提高了約6.2%。
此外,第一個金屬層(M1) 現在在一個EUV 曝光通道中創建,然後是一個蝕刻步驟(1P1E),從而降低了複雜性,減少了掩模數量,並提高了整體製程效率。
Yeap表示,優化的M1 採用新穎的1P1E EUV 圖形,使標準電池電容降低了近10%,並節省了多個EUV 掩模。 “總之,N2 MoL 和BEOL RC 降低了約超過20%,為節能計算做出了重大貢獻。”
此外,N2 用於HPC 應用的額外功能包括超高性能MiM (SHP-MiM) 電容器,可提供約200fF/mm² 的電容,這有助於透過減少瞬態電壓下降來實現更高的最大工作頻率( Fmax)。
據台積電稱,N2 技術具有具有平坦鈍化和TSV 的新型Cu RDL 選項,該選項針對面對面和麵對面的3D 堆疊進行了優化,SoIC 鍵合間距為4.5 μm,這將成為AI、HPC 甚至移動設計的可用功能。
目前台積電N2 處於風險生產階段,並計劃於2025 年下半年量產。另一種被稱為N2P 的製程正在開發中。 N2P 是N2 的增強版本,預計將帶來5%的效能提升,具有完全的GDS 相容性。預計2025 年完成資格認證階段,計畫於2026 年量產。
對於客戶來說,隨著台積電N2的量產,屆時2nm晶圓的代工報價可能將達到2.5萬-3萬美元/片,遠高於目前3nm晶圓約2萬美元/片的價格。
但N2所能夠帶來的電晶體密度提升、效能提升或功耗降低則相對有限,再加上初期的良率問題,這也意味著一片12吋2nm晶圓所能夠切割出來的可用的單顆晶片的成本將會大幅提升,顯然這將會抑制可能客戶對於2nm製程的採用。
預計初期能夠用得起台積電2nm製程的客戶只有蘋果公司、英偉達、AMD、高通和聯發科等少數頭部客戶,但是從產品規劃來看,英偉達和AMD在2026年可能都不會採用2nm流程,相對來說蘋果、高通、聯發科則有可能在2026年的旗艦晶片上採用。