ASML推出High NA EUV樂高套裝851個零件復刻全球最貴光刻機
光刻設備製造商ASML近日在其官網紀念品商城推出了一款特別的產品-High NA EUV光刻系統TWINSCAN EXE:5000的樂高模型套裝。該模型的定價為227.95美元,約合人民幣1653元。
這款樂高模型由ASML的員工兼樂高愛好者Rick Lenssen設計,包含851個零件,尺寸為寬352mm、高99mm、深64mm,精確復刻了TWINSCAN EXE:5000的外觀。
High NA EUV光刻機是全球首款採用0.55NA數值孔徑的光刻機,解析度達到8nm,成像對比度比之前的NXE系列0.33NA EUV系統高出40%,支援2nm邏輯節點圖案化,單價高達3.5億歐元。
Rick Lenssen先前曾花費2.5年時間(1.5年設計藍圖、1年實際組裝)用樂高積木復現了ASML的費爾德霍芬主園區,並推出過多款ASML主題的樂高套裝產品。