根據TrendForce 引述日經新聞的消息稱，Rapidus 從ASML 訂購的EUV 光刻機預計將於12 月中旬運抵日本。 這標誌著EUV 技術在日本的首次部署，是日本半導體產業尋求確立主要地位的重要一步。

Rapidus 目前正在北海道千歲市建造一座工廠，計劃於2027 年開始量產2 奈米晶片。 如果2 奈米晶片生產成功，該公司還計劃購買幾台EUV 設備，並打算建立第二個專門生產1.4 奈米晶片的生產設施。 

為了支援這些業務，ASML 將在千歲市建立一個服務中心。

英偉達公司執行長黃仁勳暗示有可能將人工智慧晶片生產外包給Rapidus。 截至10 月，Rapidus 工廠的施工進度已達63%，仍在按計畫進行，該廠於2023 年9 月開工。 

除Rapidus 外，美光的廣島工廠計畫於2025 年安裝EUV 設備，並於2026 年實現量產。 

台積電在日本的子公司JASM 也計劃在2027 年將EUV 光刻技術與第二家晶圓廠整合，該廠將擁有一條6 奈米生產線。