3D NAND原廠技術比拼哪家垂直單元更有效率?
近日,市場研究機構Techinsights對於三星、SK海力士/Solidigm、美光、鎧俠(西部數據)、YMTC的200層以上的3D NAND Flash進行了對比分析,發現三星的垂直單元效率(VCE,vertical cell efficiency ) 是最高的。
傳統的NAND快閃記憶體單元採用平面電晶體結構,包括控制閘極(Control Gate)和浮動閘極(Float Gate)。透過向單元施加電壓,電子在浮動閘極中儲存和移除。
多年來,供應商將平面NAND 的單元尺寸從120nm 縮小到1xnm 節點,使容量增加了100 倍。
然而,當單元尺寸達到了14nm 的極限,這意味著該技術不再可擴展,由此NAND原廠紛紛轉向3D NAND,以實現超過2D NAND 結構的數據密度,並能夠在更新一代的技術節點上製造。
具體來說,平面NAND 由帶有儲存單元的水平串組成,而在3D NAND 中,儲存單元串被拉伸、折疊並以「U 形」結構垂直豎立。
實際上,這些單元以垂直方式堆疊以縮放密度,因此,3D NAND儲存單元有多個層級。
3D NAND的層數描述了堆疊在一起的字線(Word Line)數量。在這些字線層上切出一個垂直柱,柱子與每條字線的交點代表一個物理單元。
也就是說,每個3D NAND 儲存單元都類似於一個微小的圓柱形結構。
每個微小單元由中間的垂直通道和結構內部的電荷層組成,透過施加電壓,電子可以進出絕緣電荷儲存膜,然後讀取訊號。
平面NAND 在每個節點上都減小了單元尺寸, 3D NAND 則採用了更寬鬆的工藝,大約在30nm 到50nm 之間。
3D NAND 記憶體容量的擴展主要是透過添加垂直層來實現的,在這種3D NAND結構中,單元密度會隨著堆疊中層數的增加而增加。
然後,每隔一到兩年,供應商就會從一代技術遷移到下一代技術。
根據研究數據顯示,供應商平均每代3D NAND 都會增加30% 至50% 的層數,而每一代新的晶片將會增加10% 至15% 的晶圓成本。這也使得NAND 的每bit成本能夠平均以每年約20%幅度降低。
現在,超過200層的TLC NAND 產品已經逐漸成為主流,例如三星236層NAND 、SK 海力士238層NAND、美光232層NAND 、YMTC 232層NAND。
另外還有一些接近200層的廠商,例如鎧俠(KIOXIA)和西部數據的112層/162層NAND 和Solidigm 的144層/ 192層(FG) NAND。
Techinsights從SK 海力士2TB SSD PC811 HFS002TEM9X152N (設備:H25T3TDG8C-X682) 中提取了SK 海力士238L 512 Gb 3D NAND 晶片,該晶片尺寸為34.56mm 2,位元密度為14. 2. 14.mm。
談到3D NAND 單元效率,垂直單元效率(VCE,vertical cell efficiency) 對於NAND 單元製程、設計、整合和設備操作而言非常重要。
隨著堆疊的總閘極數量的增加,單元VC(vertical cell)孔高度也會增加。
為了降低VC 高度和縱橫比,其中一種方法是透過減少虛擬閘極(dummy gates)、透過閘極(passing gates)和選擇閘極(select gates)的數量來提高垂直單元效率。
垂直單元效率可以用總閘極中active cell 的百分比來定義,也就是用active WL (Word Line)除以整合的總閘極數來計算。
垂直單元效率越高,製程整合度越高,縱橫比越低,整體效率越高。
VCE可定義為活躍單元佔總閘極的比例,即Active WL 數量除以總集成閘極數量x 100%。
例如,一個NAND串由Active WL、通道WL(含dummy WL)和選擇器(源極/汲極)組成。
若其包含96個Active WL和總計115個閘極,則VCE為83.5%,計算方法為96/115×100%。
VCE越高,對製程整合越有利,能達到更低的縱橫比和更高的生產效率。
Techinsights發現,在多代3D NAND 產品中,三星始終以最高的垂直單元效率領先產業。他們最新的多層V-NAND 在前幾代以高效著稱的基礎上,擁有令人印象深刻的垂直單元效率。
美光和YMTC也在其產品中展示了強勁的垂直單元效率數據,這反映出它們在減少虛擬閘極、通過閘極和選擇閘極數量方面取得了顯著進步,從而優化了垂直單元效率。
△3D NAND 垂直單元效率趨勢
總結來看,三星每一代產品的VCE都是最高的,例如採用單層結構的128層是94.1%,176層COP V-NAND是92.1%,236層2nd COP V-NAND是94.8% 。
YMTC的232層Xtacking 3.0的VCE是91.7%,美光232層是91%。
鎧俠162層的VCE稍低一些,為88%。
SK海力士238層共有259個門,VCE為91.9%,仍低於三星的236L。