台積電:主要機台包含所有極紫外線(EUV)微影設備皆無受損
台灣花蓮縣海域發生7.3級地震,後續記錄到上百起餘震。根據媒體報道,4月3日晚,台積電對中國台灣發生的地震所造成影響做出最新評估。台積電錶示,雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外線(EUV)光刻設備皆無受損。
台積電稱,地震發生後10小時內,晶圓廠設備復原率已超過70%,新建的晶圓廠復原率已超80%。
不過,業內人士「手機晶片達人」卻表示,台積電的聲明與他詢問Fab工作的朋友得到的回覆差別極大。
該人士稱,官方聲明說的若無其事,好像沒有任何損失,但是在台積電Fab工作的朋友卻說影響很大,wafer(晶圓)受損蠻嚴重的,很多機台必須重新調校,會影響生產。
有網友表示:「越先進的工藝,受影響越大」「估計損失可能要好幾億美元了,機台上的晶圓都廢了」。