ASML已交付Intel第一台高NA EUV極紫外光刻機，將用於2nm製程以下晶片的製造，台積電、三星未來也會陸續接收，可直達1nm製程左右。那麼之後呢？消息稱，ASML正在研究下一代Hyper NA(超級NA)光刻機，繼續延續摩爾定律。

ASML第一代Low NA EUV光刻機只有0.33 NA (孔徑數值)，臨界尺寸(CD)為13.5nm，最小金屬間距為26nm，單次曝光下的內連接間距約為25-30nm，適合製造4 /5nm製程。

使用雙重曝光，可將內連接間距縮小到21-24nm，就能製造3nm製程了，例如台積電N3B。

第二代EUV光刻機提高到了0.55 NA，臨界尺寸縮小到8nm，金屬間距最小約為16nm，可製造3-1nm，例如Intel就透露會在1.4nm節點上首次使用。

ASML CTO Martin van den Brink在受訪時確認，ASML正在調查開發Hyper NA技術，繼續推進各項光刻指標，其中NA數值將超過0.7，預計在2030年左右完成。

它表示，這種新型EUV光刻機適合製造邏輯處理器晶片，比起高NA雙重曝光成本更低，也可用於製造DRAM記憶體晶片。

ASML已揭露的數據顯示，低NA光刻機的成本至少1.83億美元，高NA光刻機更是3.8億美元起步。

根據微電子研究中心(IMEC)的路線圖，2030年左右應該能推進到A7 0.7nm工藝，之後還有A5 0.5nm、A3 0.3nm、A2 0.2nm，但那得是2036年左右的事兒了。