7nm高階DUV光刻機出口許可被撤銷ASML回應:中國客戶積壓訂單都已交付
根據ASML官方公告,2023年NXT:2050i、NXT:2100i光刻系統的出貨許可證被撤銷,不過這沒有太多可以擔心的地方。根據ASML的說法,2023年基本上交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單(至於2024年是否可以繼續,ASML之前就表示不能確定。)。
事實上,2023年ASML一直都在向中國客戶供應光刻機,其中就包含了NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品,且基本交付了中國大陸客戶預付的DUV積壓訂單。
至於先進的7nm、14nm等先進的EUV光刻機,ASML依然無法販售中國客戶。
根據ASML官網提供的訊息,該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。
ASML官網上關於這一台TNXT:1980Di介紹,在分辨率方面,寫到是大於等於38nm(可以支援到7nm左右),而這是指一次曝光分辨率,事實上光刻機是可以進行多次曝光。