三星電子正在開發自己的“智慧感測器系統”，用於對半導體製程的控制和管理。這項新技術可望提高半導體良率、提高生產力。根據ETNews報導，三星電子內部已經開始了智慧感測器系統的研究與開發，預計未來將應用於無人駕駛和人工智慧半導體製造過程。該計畫據悉正在與相關夥伴和學術界合作進行。

精確測量和管理等離子體條件，被認為是半導體生產過程中的重要工作之一，因為只有在半導體製造過程中精確控制等離子體的均勻性和密度，才能提高半導體良率、確保產量。

而「智慧型感測器系統」可用於測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的製程性能，可望實現產能的提升。

該公司現有的晶圓智慧感測器大部分採購自國外廠商，耗資巨大。而近期，鑑於對提高產量和生產率的需求不斷飆升，三星選擇轉向內部研發，降低對外國感測器的依賴程度。

此外，三星電子正在開發的智慧感測器據悉是超小型的，不會對現有設備空間造成太大影響。這意味著還能夠提高空間利用率。

三星電子也計劃逐步擴大智慧感測器的開發和應用範圍。其目的是開發智慧感測器和系統，可用於各種半導體工藝，而不限於等離子體。

上述舉動是三星對建構智慧半導體生產系統的嘗試，或許最終可望實現「人工智慧晶圓廠」。