佳能:壓印技術全球獨有望造2奈米半導體
佳能高層在受訪時表示,奈米壓印技術甚至可以生產電路線寬為2奈米的產品,而該業務在全球只有佳能才有。佳能半導體機器業務部長岩本和德稱,奈米壓印就是把刻有半導體電路圖的掩膜壓印到晶圓上,壓印1次就可以形成電路,如果改進掩膜,甚至可以生產電路線寬為2奈米的產品。
客戶的實際成本可以降至傳統光刻設備的一半,而且由於奈米壓印設備的規模減小,在研發等用途上也更方便引進。
當被問及奈米壓印光刻設備是否有其他競爭公司時,岩本和德表示,面向半導體光刻,開展奈米壓印設備業務的在全世界只有我們公司,准入門檻很高。
從2017年左右開始,佳能就與鎧俠和大日本印刷3家持續進行合作開發,“目前量產用途的實用化已有眉目,我認為可以面向客戶銷售。”
同時其也表示佳能已收到了半導體廠商、大學、研究所的許多諮詢,“由於引進EUV光刻設備需要龐大成本,作為替代措施的奈米壓印備就備受期待。”