深圳一企業造出分辨率達0.1奈米的顯微測量儀
據央視財經日報道,其「專精特新 製造強國」系列節目報道深圳市中圖儀器股份有限公司。該公司歷經18年用心打磨15把硬核科技“尺”,從納米到百米,從接觸式到非接觸式,不斷拓展工業測量領域全尺寸鏈條。
據公司董事長馬俊傑介紹,其公司製造的顯微測量儀,分辨率已達到了0.1奈米,在半導體領域已經大量使用,能夠直接測量晶片。
例如,一枚看似光滑的晶圓,在顯微測量儀下,表面看上去依然是錯落有致,經過測量,高度差僅有6.1奈米,但還是需將它切割成更小的方塊,才能使用。
此外,他們公司生產的閃測儀,測量速度非常快,他手機上的一塊精密結構件,只需要幾秒鐘,幾百個尺寸直接顯示出來,而且達到了微米等級的精度。
除了微小結構件外,他們團隊還能測量巨型工業工件,研發的雷射追蹤儀能夠測量百米尺寸,是唯一同時具有微米級測量精度,和百米工作空間的高性能光電儀器。
據悉,馬俊傑畢業於清華大學精密儀器專業,後來在研究所工作期間,他發現實驗室裡的精密儀器全都來自國外,這讓他產生了創業做國產幾何測量儀的想法。
雖然他們公司18年來只做了15台測量儀,但是每一台都極具特色,均能解決工業生產中的測量痛點問題。