「中國光刻機工廠」瘋傳官方揭開真相:北京高能量同步輻射光源
近日,網路瘋傳清華大學彎道超車,已經突破EUV光刻機項目,實現了光刻機的巨大化、工廠也已經在雄安新區落地,就是下圖中這個樣子:難道這真的是國產光刻機工廠?不,中國電子院對此做出了詳細的解讀:這是北京高能量同步輻射光源計畫(HEPS)!
HEPS坐落於北京懷柔雁栖湖畔,是國家“十三五”重大科技基礎設施。
它是我國第一台高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一,早在2019年就開始建設,將於2025年底投入使用。
△北京高能同步輻射光源項目實拍圖
HEPS的作用是通過加速器將電子束加速到6GeV,然後注入周長1360米的儲存環,用接近光速的速度保持運轉。
電子束在儲存環的不同位置通過彎轉磁鐵或者各種插入件時,就會沿著偏轉軌道切線的方向釋放出穩定、高能量、高亮度的光,也就是同步輻射光。
簡單的說,HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機。
它產生的小光束,可以穿透物質、深入內部進行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界。
HEPS是進行科學實驗的大科學裝置,並不是網傳的光刻機工廠。
該項目由全國勘察設計大師、國投集團首席科學家婁宇帶隊,中國電子院多個技術科研和設計團隊協同合作。
從項目可研立項到項目落地,中國電子院攻克了多項技術和工藝難關,解決了項目不均勻沉降、微振動控制、超長結構設計、光伏板設計、精密溫度控制、工藝循環冷卻水系統、超複雜工藝系統等七大技術難題,實現了重大技術突破,指標控制達到了國際先進水平。
目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工,向產生世界最“亮”的光又更近了一步。
雖然HEPS不是光刻廠,但關於光刻廠的信息之所以能在自媒體平台迅速刷屏,歸根到底,還是源於大眾對解決“卡脖子”難題的期待。
中國電子院也在,助力“中國芯”之路上持續發力,從建院之初,便開啟了中國“芯”的起步。
近年來,中國電子院深耕細做半導體產業,承擔了國內超過50%的記憶體晶片項目,為國家在電子資訊領域實現科技自立自強做出了重要貢獻。
中國電子院自主開發了核心算法和數字化技術,已推出“先進電子製造數字孿生工廠解決方案1.0版” ,致力於實現生產製造“綠色、低碳、精益、高效”建設目標。
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