荷蘭推半導體出口管制新規ASML確認部分DUV光刻機將實施出口許可
經過多日傳言,荷蘭最新的半導體出口管制新規如今塵埃落定。6月30日,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥ASML公司(NASDAQ:ASML/AMS:ASML)發給鈦媒體App的一份聲明中證實:荷蘭政府於今日(30日)頒布了有關半導體設備出口管制的新條例。
根據新出口管制條例規定,ASML需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發運最先進的浸潤式DUV系統(即TWINSCAN NXT:2000i及後續推出的浸潤式光刻系統)。荷蘭政府將決定是否授予或拒發出口許可證,並將向ASML提供許可證所附條件的細節。
但ASML也表示,此次並不適用於所有浸潤式DUV設備,只涉及包括最先進的沉積設備和浸潤式光刻系統。ASML強調,荷蘭政府新頒布的出口管制條例將於2023年9月1日生效,在此日期前,ASML可開始提交出口許可證申請。荷蘭政府將視具體情況批准或拒絕這些申請。
據ASML 2021投資者日文件,NXT: 2000i及後續光刻系統半間距為38nm、對準精度為2.0nm以內,對應是28nm至7nm先進製程芯片的製造(基於芯片類型不同,也可用在45nm及以下的成熟製程當中,具體看曝光次數)。基於此,業界普遍認為,此次受限制的是10nm左右及以下的先進工藝芯片製造。
“基於今日的公告,我們認為這些管制條例不會對已發布的2023 年財務展望以及於2022年11 月投資者日宣布的長期展望產生重大影響。”ASML在對鈦媒體App的聲明中誓言,公司將繼續遵守適用的出口管制條例,其中包括荷蘭、歐盟及美國的出口管制條例。
這意味著,自2019年以來,ASML研發的最先進極紫外光(EUV)設備已禁止銷往中國。如今限制更進一步,ASML將對華限制出口深紫外(DUV)光刻機等半導體技術。中國公司或將無法得到新的最先進芯片所需的光刻機設備和軟件服務,這對於中國芯片行業發展有深遠影響。
受消息影響,截至鈦媒體App發稿,ASML股價在阿姆斯特丹下跌1.26%,至660歐元/股,此前該股曾一度下跌3.8%。今年迄今為止,ASML荷蘭股票已上漲超過30%。
EUV光刻機
據悉,光刻機在芯片製造中扮演關鍵角色。
在半導體製造行業,DUV光刻機可以用於製造7nm及以上製程的芯片,涵蓋了大部分數字芯片和幾乎所有的模擬芯片,隨著先進製程向5nm及以下進化,EUV成為未來光刻技術和先進製程的核心,主要用於7nm及以下先進芯片製造工藝,荷蘭ASML是唯一的供應商。(詳見鈦媒體App前文:《美國要求荷蘭對華禁售ASML光刻機,對芯片國產化影響有多大?》)
作為歐洲最大的科技公司,ASML市值達2662.73億歐元,在芯片供應鏈中佔據著至關重要的地位。
財報顯示,以客戶工廠所在地區劃分,中國大陸是ASML第三大市場,2022年全年為ASML貢獻了29.16億歐元的收入,佔總營收的14%。除中國大陸外,中國台灣、韓國、美國、日本為前五大市場,2022年上半年貢獻的營收佔比分別為42%、29%、7%、4%。而此次涉及的產品佔ASML營收的34%以上。
自2018年起,美國政府多輪遊說荷蘭政府,使得ASML陸續限制向中國出口EUV光刻機、部分先進DUV光刻設備。2022年10月7日,美國升級對華半導體出口管制,要求美國供應商若向中國本土芯片製造商出售尖端生產設備,生產18nm或以下的DRAM芯片、128層或以上的NAND閃存芯片、14nm或以下的邏輯芯片,必須申請許可證並將受到嚴格審查。而且限制中國工廠進口用於生產先進製程芯片所需的技術和設備等。隨後,美國希望與荷蘭一同實施新的出口管制政策。
今年3月,ASML公司向鈦媒體App證實,ASML將需要申請出口許可證才能發運最先進的浸潤式DUV系統。(詳見鈦媒體App前文:《光刻機巨頭ASML確認將限制部分DUV設備等芯片技術出口到中國》)
如今,荷蘭政府再度頒布了有關半導體設備出口管制新規,簡稱“先進半導體製造設備法規”。新規第二條要求,未經部長許可,禁止從荷蘭出口先進的半導體生產設備。而由於引入許可證要求,預計一次性申請24個許可證,然後每年申請20個許可證。該法規涉及僅由荷蘭極少數公司製造的特定設備。
荷蘭新規還稱,如果出現許可證是根據不正確或不完整的信息頒發,未遵守許可證的規定、條件和限制,以及出於國家外交和安全政策的考慮下,荷蘭先進半導體生產設備許可證都可以被撤銷。
ASML對鈦媒體App表示,正如其在今年三月發布的消息中所述,這些新的出口管制條例針對對象為先進的芯片製造技術。荷蘭政府新頒布的出口管制條例將於2023年9月1日生效。ASML強調,公司長期展望的基礎是全球的長期需求和技術趨勢。
海關總署統計的中國進口集成電路製造設備數據(百萬美元)
值得注意的是,據海關總署6月公佈的數據,本輪荷蘭實施出口管制新規傳聞前後,今年5月,中國從荷蘭進口大量的半導體與集成電路製造設備,總額達3.84億美元,年增長66.44%,使荷蘭取代日本成為中國最大的集成電路製造設備進口國。
總體而言,2023年前5個月,荷蘭、日本、新加坡、美國和台灣地區佔中國集成電路製造設備進口量的近90%。另外,馬來西亞是中國第六大芯片製造設備進口國,其份額為中國進口從2022年的5.68%,下降至2023年前5個月的1.68%。而作為主要的半導體製造設備出口國之一,馬來西亞產品出口量每年增長超過100%。