據台媒《經濟日報》報導，三星電子副會長李在鎔在荷蘭訪問ASML之後，已經確保取得“額外”的極紫外光（EUV）光刻機設備。報導稱，業界認為，ASML是全球唯一的高端芯片製程設備製造商，EUV設備的穩定供給，是三星超車台積電、搶下全球晶圓代工龍頭的關鍵。

據韓媒Business Korea報導，三星15日表示，李在鎔14日造訪ASML荷蘭總部時，拜會了ASML首席執行官Peter Wennink等高管，廣泛討論半導體技術的未來、市場前景及EUV設備的供應，並取得“額外”的EUV光刻機設備。

業界此前傳出，去年ASML的EUV設備年度出貨量為48台，其中15台由三星奪得，20台由台積電包辦。

報導稱，今年ASML的EUV光刻機出貨量估計為51台，其中三星預定18台，台積電則至少確保22台。

根據韓媒報導，此次三星若能爭取到更多EUV機台，則今年至少可獲得18台，不過三星未詳細說明此次獲得的“額外”EUV設備內容。

三星2000年代開始與ASML在半導體製程與設備開發方面進行合作。2012年，三星入股ASML，強化雙方夥伴關係。