據國外媒體報導，5nm工藝量產已兩年的台積電，正在推進3nm工藝的量產事宜，這一製程工藝在去年下半年已風險試產，按計劃將在今年下半年大規模量產。而除了3nm製程工藝，台積電也在謀劃更先進的2nm工藝的量產事宜，這一工藝計劃在2025年量產。

外媒的報導顯示，台積電在近期已宣布，他們將投資340億美元，推動2nm製程工藝的量產，他們已經獲得了建廠土地的租賃許可。

另外，有外媒在報導中表示，台積電的高層，正在同相關方，就建設2nm製程工藝工廠所需的土地進行談判，超過90%的業主已經同意，預計最遲在6月份能獲得建廠所需的全部土地。

除了土地，台積電2nm製程工藝工廠在廠房的建設方面也需要大量的資金，但花費最多的，預計會是更高端的極紫外光刻機和其他的先進設備。

台積電從第二代的7nm工藝開始採用極紫外光刻機，隨後量產的5nm等先進製程工藝，都需要極紫外光刻機，他們也從阿斯麥採購了大量的極紫外光刻機，而更先進的2nm工藝所需要的將是高數值孔徑極紫外光刻機。

阿斯麥已經推出的TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D極紫外光刻機中，最先進的TWINSCAN NXE:3600D最高也只能支持5nm和3nm工藝的量產。

而從阿斯麥一季度的財報來看，他們在今年一季度交付3台極紫外光刻機，營收5.94億歐元，平均一台的售價接近2億歐元。未來推出的支持2nm製程工藝的更先進的極紫外光刻機，售價將會更高。