本月初，全球最大的光刻機生產商ASML在德國的工廠發生火災，引發半導體行業擔心。台積電作為ASML光刻機的最大客戶也回應了此事，他們表示不擔心會對2022年生產有什麼影響。在日前的財報會上，台積電高層回應了ASML工廠火災的問題，稱沒有理由擔心這場火災會對2022年的生產計劃產生影響。

台積電強調，該公司的產能增長，包括EUV光刻在內的工藝都可以按計劃完成，不擔心ASML的履約能力。

目前台積電的7nm及以下工藝產能都需要EUV光刻機，根據財報透露的信息，在第四季度，台積電7nm製程芯片的出貨量占到了總晶圓出貨量的27%，而5nm製程芯片佔比則為23%。

至於ASML，根據他們之前的信息，雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產，DUV光刻機不受影響。

EUV光刻機是生產7nm以下工藝的關鍵設備，ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商，每台售價1億歐元，將近10億人民幣，去年交付了35台EUV光刻機，今年計劃交付55台EUV光刻機，三星、台積電及Intel是主要的客戶。