CPU、GPU為代表的邏輯工藝製程進入7nm之後，EUV光刻工藝是少不了的。 現在記憶體還停留在10nm工藝級別，暫時沒用到EUV工藝。 不過三星、SK海力士及美光也確定未來會用，其中美光的EUV工藝記憶體在2024年量產。

資料圖（來自：Micron 官網）

美光CEO Sanjay Mehrotra日前在採訪中確認，美光已將EUV技術納入DRAM技術藍圖，將由10nm世代中的1γ（gamma）工藝節點開始導入。

美光EUV工藝DRAM將會先在台中A3廠生產，預計2024年進入量產階段。

注意，這個是1γ工藝，不是之前的1y工藝，10nm級別的記憶體工藝中前三代是1x、1y、1z，再往後是1a、1β、1γ等。

在美光之前，三星及SK海力士都更早進入了EUV節點，從去年底就開始部署EUV光刻工藝了，而且比美光更激進，最快在1a工藝節點就會量產EUV記憶體晶元。