我國科學家在磁性芯片高精度檢測領域取得新突破。北京航空航天大學集成電路學院科研人員在5個原子層厚的納米磁性薄膜上寫下“100年”、“中國芯”幾個字。據新華網報導，磁性芯片可作為高可靠的信息存儲模塊和高靈敏的磁信號傳感模塊，應用於飛機、衛星的控制系統，以及手機電子羅盤、汽車自動駕駛等領域。

磁性芯片生產過程中，需將納米磁性薄膜均勻鋪在晶圓（製作矽半導體集成電路所用的襯底）上。難點在於薄膜的平整度，“相當於在北京的海淀區地面上均勻鋪滿5層厚的小米粒，且須完全平整”。在磁性芯片生產過程中的磁性薄膜檢測這一關鍵技術。

北航集成電路學院工藝與裝備系教師張學瑩表示，利用團隊研發的晶圓級磁光克爾測試儀，通過微小的磁性針尖在薄膜上寫字，若字的顏色對比度一致、字跡清晰，則表明薄膜有良好的均勻性。完成平整度檢測後，將納米薄膜製成器件，封裝後形成芯片。

北航集成電路學院工藝與裝備系主任王新河表示，對比國外同類設備，這台儀器在測試精度和速度等方面進行了技術革新，實現了自主創新突破。目前該儀器現已應用於科研領域，且預計於今年10月在產業領域投入商用。這台晶圓級磁光克爾測試儀，將為具有百億元市場規模的磁性芯片產業提供設備支撐。（校對/nanana）