SK海力士:NAND閃存將堆疊超過600層
存儲大廠SK海力士的CEO李錫熙(Seok-Hee Lee)近日在IEEE國際可靠性物理研討會上發表主題演講,分享了在閃存、內存未來發展方面的一些規劃和展望。3D NAND閃存方面,如今行業的發展重點不是更先進的工藝,也不是QLC、PLC,而是堆疊層數的不斷增加,SK海力士就已經做到了176層。
SK海力士此前認為,3D閃存的堆疊層數極限是500層,不過現在更加樂觀,認為在不遠的將來就能做到600層。
當然,為了做到這一點,需要在技術方面進行諸多創新和突破,比如SK海力士提出了原子層沉積(ALD)技術,進一步強化閃存單元屬性,可以更高效地存儲、釋放電荷,並且在堆疊層數大大增加後依然保持電荷一致性。
為了解決薄膜應力(film stress)問題,SK海力士引入了新的氮氧化物材料。
為了解決堆疊層數增加後存儲單元之間的干擾、電荷丟失問題,SK海力士開發了獨立的電荷阱氮化物(CTN)結構,以增強可靠性。
另外針對DRAM內存發展,SK海力士在考慮引入EUV極紫外光刻,可將工藝製程推進到10nm以下。