三星介紹其3nm MBCFET堆疊式晶體管優勢有望2022年實現
三星半導體將憑藉即將推出的3納米製造工藝,成為首家開始使用柵極全向場效應晶體管(GAFET)類結構的半導體製造商。這個節點還沒有完全準備好進入黃金時段,但在IEEE國際固態電路會議(ISSCC)上,來自三星晶圓廠的工程師分享了即將推出的3納米GAE MBCFET(多橋通道FET)製造技術的一些細節。
從形式上看,GAAFET有兩種類型:典型的GAAFET稱為納米線,結構上看其特點是”薄”鰭,以及MBCFET稱為納米片,對應使用”厚”鰭。在這兩種情況下,柵極材料都圍繞著溝道區域的四面。納米線和納米片的實際實現在很大程度上取決於設計,因此一般來說,許多行業觀察家用一個術語來描述兩者,即GAAFET。但之前它們被稱為環繞柵極晶體管(SGT)。同時,MBCFET是三星的商標。
第一款GAAFET在1988年進行了演示,因此該技術的主要優勢早已經為人所知。這種晶體管的結構本身就允許設計者通過調整晶體管溝道的寬度(也稱為有效寬度,或Weff)來精確地調整它們以實現高性能或低功耗;較寬的片可以在較高的功率下實現更高的性能,而較薄/較窄的片則可以降低功耗和性能。為了在FinFET上做類似的事情,工程師們必須使用額外的鰭片來提高性能。但在這種情況下,晶體管通道的”寬度”只能增加一倍或三倍,這其實並不精確,有時效率也很低。此外,調整GAAFET還可以提高晶體管密度,因為不同的晶體管可以用於不同的用途。
早在2019年,三星的3GAE工藝設計套件0.1版本就包含了四種不同的納米片寬度,為早期採用者提供了一定的靈活性,不過目前還不清楚該公司是否增加了更多的寬度以增加靈活性。
總的來說,三星表示,與7LPP技術相比,其3GAE節點將實現高達30%的性能提升(在相同的功率和復雜性下),高達50%的功耗降低(在相同的時鐘和復雜性下),以及高達80%的晶體管密度提升(其中包括邏輯和SRAM晶體管的混合)。
在ISSCC上,該公司討論瞭如何利用其新型晶體管提高SRAM性能和可擴展性。近年來,SRAM的可擴展性一直滯後於邏輯的可擴展性。同時,現代系統級芯片在各種緩存中使用了大量的SRAM,因此提高其可擴展性是一項至關重要的任務。
在ISSCC上,三星半導體介紹了其256Mb MBCFET SRAM芯片,裸片尺寸為56mm2。這意味著,雖然該公司還沒有帶出第一款3GAE邏輯芯片,但很明顯,該技術對SRAM是有效的。
SRAM是一個六晶體管存儲器單元:兩個通門、兩個上拉和兩個下拉。在FinFET設計中,SRAM單元將使用相同通道寬度的晶體管。在MBCFET中,三星可以調整通道寬度,因此它提出了兩種方案。一種方案是使用通道較寬的晶體管做通門和下拉;另一種方案是使用通道較寬的晶體管做通門,使用通道較窄的晶體管做下拉。據三星通過IEEE Spectrum報導,通過使用通道較寬的晶體管做通門,使用通道較窄的晶體管做上拉,三星成功地將寫入電壓比普通SRAM單元降低了230 mV。
預計在未來幾年內,當今流行的FinFET晶體管設計將讓位於堆疊式納米片晶體管,由於各種設計和技術原因。據IEEE Spectrum報導,台積電計劃在3納米時堅持使用FinFET,但三星正勇敢地冒著風險推進其3納米節點向納米片晶體管過渡的計劃。
三星電子副總裁Taejoong Song在本月初的IEEE國際固態電路會議上發表了演講,在會上概述了納米片晶體管的一些關鍵優勢。”我們使用FinFET晶體管已經有十年之久,然而在到達3納米時,我們使用的是柵極全能晶體管,展望未來,團隊相信,Nanosheet結構的晶體管將會是一個成功的設計,因為它們提供了”高速度、低功耗和小面積”。
與三星迄今發現的FinFET相比,這些新型晶體管的主要優勢包括:
設計靈活,特別是在調整晶體管通道的”有效寬度”或Weff方面。
由於大幅降低了切換電池狀態所需的最低電壓,因此在下一代SRAM IC中具有出色的潛力。
在較小的面積內消耗較少的功率,有可能實現更高性能的晶體管。