對先進工藝來說，ASML的光刻機必不可少，最先進的EUV光刻機售價將近10億元，投資巨大，而且購買EUV光刻機門檻也很高，全球也只有三家公司購買。報導指出，目前ASML的EUV光刻機不是想買就能買的，半導體廠商需要有7nm及以下工藝的生產能力才行，目前主要就是台積電、三星及Intel三家。

在ASML公司2020年簽訂的86台EUV光刻機訂單中，台積電最為霸氣，購買了44台，佔了一半多，其次是三星，購買19台，Intel也購買了18台。

當然，這三家都是用於邏輯芯片生產的，如果考慮到內存行業，那麼SK海力士也加入了EUV光刻機購買大軍，前不久與ASML簽訂協議，斥資43.4億美元購買EUV光刻機。

由於EUV光刻機極為昂貴，所以它的銷量在ASML中只佔12%，但營收缺佔了45%，2023年的營收甚至會比2020年提升一倍多。