日本開髮用於新一代半導體的新型晶體管結構
目前量產的最先進工藝是台積電、三星的5nm,明年有望量產3nm工藝,再往後的2nm工藝需要全新的技術,製造難度更高,是大國爭搶的製高點之一。在先進工藝上,目前台積電、三星及Intel等幾家實力強大,日本公司主要是在光刻膠、矽片等材料有較大優勢,但日本也沒有放棄先進工藝上的努力。
據日本媒體報導,日本產業技術綜合研究所與中國台灣半導體研究中心(TSRI)等展開合作,開發了用於新一代半導體的新型晶體管結構。
相比其他技術,該技術將矽(Si)和鍺(Ge)等不同溝道材料從上下方堆疊、使“n型”和“p型”場效應晶體管靠近的名為“CFET”的結構。
報導稱,與此前的晶體管相比,CFET結構的晶體管性能高、面積小,有助於製造2nm以下線寬的新一代半導體。
據悉,這一研究成果發表於2020年12月在線上舉行的半導體相關國際會議“IEDM2020”。該項新技術有望在今後約3年裡對民營企業進行轉讓,正式開始商用。