國內半導體材料公司晶瑞股份發表公告，宣稱購得ASML公司光刻機一台，將用於高端光刻膠項目。晶瑞表示，自公司開展設備採購活動以來，受到投資者廣泛密切關注。經公司多方協商、積極運作，順利購得ASML XT1900 Gi型光刻機一台。該設備於2021年1月19日運抵蘇州並成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。

下一步，公司將積極組織相關資源，盡快完成設備的安裝調試工作。

從晶瑞公司的信息來看，公司採購的光刻機設備為ASML XT 1900 Gi型ArF浸入式光刻機，可用於研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。

此外，28nm級別的光刻機在ASML公司中並不算多先進的型號了，官網上列出的沉浸式光刻機最舊的型號也是XT1965CI了，可用於20nm以下的工藝。

不過晶瑞公司購買的這台光刻機花了1102.5萬美元，約合人民幣7129萬元，價值不菲。

晶瑞公司表示，公司量產光刻膠近30年，組建了國內領先的光刻膠研發團隊，具有豐富的光刻膠研發和生產經驗，先後承擔了國家“85”攻關、“863”重大專項、科技部創新基金等科技項目、承擔了國家02重大專項“i線光刻膠產品開發及產業化”項目，並順利通過國家02重大專項驗收。

公司完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。

本次購買的ASML光刻機設​​備系公司集成電路製造用高端光刻膠研發項目的必要實驗設備，旨在研發出更高端的ArF 光刻膠，若研發工作進展順利，將有助於公司將光刻膠產品序列實現到ArF 光刻膠的跨越，並最終實現應用於12英寸芯片製造的戰略佈局。