據韓媒報導，三星電子副董事長李在鎔在本週三（10月14日）親自飛赴ASML（阿斯麥）荷蘭總部會晤。陪同李在鎔的是三星芯片業務負責人Kim Ki-nam，ASML方面CEO Peter Wennink和CTO Martin Van den Brink均出面接待，規格頗高。

據稱，雙方探討了的核心是EUV光刻機的供應和裝配（5nm)，同時也就面向AI等領域的下一代光刻機研發合作交換了意見，討論中還各自發表了對當前新冠肺炎疫情的看法。

資料顯示，三星和ASML在EUV極紫外光刻上的合作可追溯到2000年，三星在2012年的時候還投資入股ASML以加強合作，目前，三星持有ASML 1.5%股份。

另據了解，ASML正在開發NXE-5000，是其現有主力出貨EUV光刻機NXE-3400B的完全換代型號。