對於現在的芯片代工廠來說，擁有最先進的光刻機重要性已經不言而喻，而作為龍頭的台積電肯定也是明白這個道理。之前有消息稱，台積電打算在2021年底前購置55台EUV光刻機，以加快EUV相關工藝製程的發展，而當前全球一半投入使用的EUV光刻機都在台積電手中。

據了解，一台EUV光刻機售價近8億元，55台EUV光刻機價值約440億元。

對於這樣的消息，台積電方面回應稱，不方便透露消息具體的真實性，這涉及到商業機密。

按照之前曝光的消息看，台積電的3nm工藝正在按計劃推進，計劃在2021年風險試產，2022年大規模投產，而據說3nm工藝準備了4波產能，其中首波產能中的大部分，將留給他們多年的大客戶蘋果。

此外，剩下的三波產能將被高通、Intel、賽靈思、NV、AMD等廠商預訂，而3nm工藝在大規模投產之後，台積電設定的產能是每月5.5萬片晶圓，隨後逐步提升，在2023年提高到每月10萬片晶圓。