台積電2nm工藝重大突破2023年風險試產良率或達90%
據台灣經濟日報報導,台積電2nm工藝取得重大突破,研發進度超前,業界看好其2023年下半年風險試產良率就可以達到90%。供應鏈透露,有別於3nm和5nm採用鰭式場效應晶體管(FinFET),台積電的2nm工藝改用全新的多橋通道場效電晶體(MBCFET)架構。
據悉,台積電去年成立了2nm專案研發團隊,尋找可行路徑進行開發。考量成本、設備相容、技術成熟及效能表現等多項條件,2nm採以環繞閘極(GAA)製程為基礎的MBCFET架構,解決FinFET因製程微縮產生電流控制漏電的物理極限問題。
極紫外光(EUV)微顯影技術的提升,使台積電研發多年的納米片(Nano Sheet)堆疊關鍵技術更為成熟,良率提升進度較預期順利。台積電此前透露2nm研發生產將在新竹寶山,規劃P1到P4四個超大型晶圓廠,佔地90多公頃。
圖片來源:台灣經濟日報
以台積電2nm目前的研發進度研判,供應鏈預計台積電2023年下半年可望進入風險性試產,2024年正式量產。今年4月也有報導指出,台積電已經在研究2024年的2nm iPhone處理器,並且已經開始研究2nm以下的節點。
晶體管是突破先進半導體製程的關鍵。比如在45nm的階段,業界引入了high-k值絕緣層/金屬柵極(HKMG)工藝,在32nm處引入了第二代high-k 絕緣層/金屬柵工藝。但當晶體管尺寸小於25nm時,傳統的平面場效應管的尺寸已經無法縮小。
加州大學伯克利分校胡正明教授發明的鰭式場效晶體管(Fin Field-Effect Transistor)解決了這一問題,其主要思想就是將場效應管立體化,這種新的互補式金氧半導體晶體管,可以改善電路控制並減少漏電流,縮短晶體管的閘長。
得益於FinFET的發明,2011年英特爾推出了商業化的22nm FinFET。此後,基於FinFET業界將半導體製程從22nm一直向前推進到如今的5nm。但5nm製程已經將晶體管縮至原子級,矽原子的直徑是0.117nm,3nm差不多是25個矽原子首尾相連的長度。
想要繼續微縮半導體製程,需要引入新的技術。台積電2nm採用的GAA(Gate-all-around,環繞閘極)或稱為GAAFET,它和FinFETs有相同的理念,不同之處在於GAA的柵極對溝道的四麵包裹,源極和漏極不再和基底接觸。
根據設計的不同,GAA也有不同的形態,目前比較主流的四個技術是納米線、板片狀結構多路橋接鰭片、六角形截面納米線、納米環。
三星對外介紹的GAA技術是Multi-Bridge Channel FET(MBCFET),即板片狀結構多路橋接鰭片。
台積電同樣採用MBCFET架構。台積電總裁魏哲家日前於玉山科技協會晚宴專講時透露,台積電製程每前進一個世代,客戶的產品速度效能提升30%- 40%,功耗可以降低20%-30%。
在GAA技術的採用上,三星更顯激進。據悉三星3nm就會導入GAA,使其3nm工藝相比7nm性能提升35%,功耗降低50%。但台積電要到2nm才會導入GAA技術。
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GAA可以帶來性能和功耗的降低,但成本也非常高。市場研究機構International Business Strategies (IBS)給出的數據顯示,28nm之後芯片的成本迅速上升。28nm工藝的成本為0.629億美元, 5nm將暴增至4.76億美元。三星稱其3nm GAA的成本可能會超過5億美元。
新的晶體管也可能帶來革命性的改變,一種叫做Bizen的晶體管架構,可能從另一方向打破CMOS極限。