作為半導體製造中最關鍵的裝備，很多網友都非常關注光刻機，畢竟它是最貴的，而且決定了CPU工藝的線寬水平，目前全球先進光刻機主要是ASML公司生產。那ASML的光刻機到底值多少錢？此前我們報導過他們的EUV光刻機，一台大概1.2億歐元，約合10億人民幣，絕對是天價了，但三星、台積電還在搶著買。

EUV光刻機之前，ASML目前的主力其實還是DUV光刻機，使用的是193nm的深紫外光刻技術，也有多種型號，這又該值多少錢呢？

這幾天網絡報導了投資上千億的武漢弘芯半導體爛尾的消息，此前該公司規劃投資200億美元，先後建設14nm及7nm工藝生產線，其中使用的就是ASML公司的TWINSCAN NXT:1980Di光刻機。

這台DUV光刻機還是全新的，它能值多少錢？現在因為資金斷裂，這台光刻機已經抵押給了武漢農村商業銀行股份有限公司東西湖支行，抵押價格是58180.86萬元，也就是5.82億元。

與EUV光刻機動輒10億元的價格相比，DUV光刻機的價格大概要少四成，只有後者60%的樣子，但也是超級貴的裝備了。

雖然比不了EUV光刻機，不過TWINSCAN NXT:1980Di依然是極其先進的，官方標稱分辨率是38nm以內，實際工藝可以做到10nm以內，台積電的第一代7nm工藝也是使用這樣的DUV光刻機實現的。