台積電買下市場上50%的EUV光刻機,貢獻了60%的產能
在本週召開的台積電技術研討會上,最重要的中心信息之一是,該公司在半導體製造領域處於世界領先地位,特別是在領先的工藝技術領域。為進一步傳達信息,台積電展示了一張幻燈片,指出了它與其他產品的相對位置:通過結合ASML的聲明和自己的內部採購單,台積電預測他們已安裝了全世界約約50%的激活EUV機器。除此之外,該公司還擁有約60%的EUV晶圓累計生產量。
大型晶圓廠目前已知的公開EUV工藝包括TSMC的7+和N5,以及三星的7LPP(及以下任何產品),英特爾的EUV努力僅在明年進入其自己的7nm產品組合。這些流程之外的任何前沿技術都將繼續擴大EUV的使用範圍。
與常規DUV機器相比,EUV機器的吞吐率通常較低,每小時約為120-175片晶圓,最新版本可以達到275 wph,但是由於1層EUV通常可以代替3-4層DUV,因此吞吐率更高。但是,對於這些代工廠來說,渴望擴展到多個EUV機器以增加晶圓的物理數量是一個迫切的目標。
唯一製造EUV機器的公司是ASML,並且該公司公開宣布其每年銷售多少台機器。詳情如下:
請注意,到目前為止,ASML仍未完全達到其目標,但是已經足夠接近實現目標,這表明到2020年第二季度末,ASML僅出貨了13台,但他們預期是35個系統。這些數字包括ASML已製造的所有不同類型的Twinscan NXE機器,而更新的機器具有更高的吞吐量(有時會翻新一些舊的機器)。截止到2020年Q2,我們預測ASML已經發貨的EUV機接近71台,到2020年年底,這個數字將有可能達到90台,然而ASML可能有多達積壓49 EUV掃描曝光機訂單,即使具有這些發貨目標。
如果ASML已經出貨了71台機器,那麼根據台積電的數字,這意味著該公司大約有30-35台。請注意,TSMC的數字是針對“已安裝的EUV”機器的。我們獲悉,從獲取零件到校準機器使用最多需要6個月的時間。因此,目前,這些晶圓廠中有一些正在等待安裝EUV機器,或者在Intel的情況下,可能僅用於早期測試或風險前試驗。我們知道,GlobalFoundries擁有兩台早期的EUV機器,安裝了一台,但是當它決定不追求領先的7nm時最終出售了這兩台機器,其中國內企業訂購了一台,但據我們所知,由於美國施加的限制,它沒有安裝。
隨著台積電為其N5生產增加其Fab 18的產能,並提高其EUV集成度,看看台積電是否受制於其所擁有的機器數量是否受到限制將很有趣。在某個時候,英特爾在部署7納米工藝時也會想購買一個數量(我已經看到英特爾已經至少有10台機器,但我無法確認),所以可能會有一個誰先獲得訂單的爭吵。
但是可以肯定的是,ASML正處於中間位置,壟斷著一切。