韓企量產氟化氫推進半導體材料國產化
韓國SK Materials週三表示,已啟動用於半導體生產工序的氟化氫氣體的量產。據稱達到了一定水平的高純度,三星電子和SK海力士將採用。針對日本加強對韓出口管制的半導體相關材料,韓國企業的國產化正在取得進展。
SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產。該公司表示,實現量產的氟化氫氣體達到被稱為“five nine(5個9)”的純度,即99.999%。雖然品質仍低於日本原材料廠商此前出口的11個9這一超高純度的“Eleven Nine”,但在半導體晶圓的清洗等一部分生產工序已開始使用。
SK Materials在日本加強對韓出口管理之後,於2019年11月建立了相關材料的開發中心。在充分利用SK海力士設立的基金資金的同時,一直推進實現氟化氫量產化的研發。目前已使全年15噸規模的生產設備投入運行,計劃到2023年將韓國國內半導體生產所用的氟化氫的國產化比率提高至70%。
日本去年7月開始限制三種高科技材料對韓國的出口,威脅到韓國經濟的支柱芯片產業,以及全球科技部件供應鏈。韓國企業尋找代替供應企業,韓國的材料廠商獲得政府支援,一直在加快相關材料的國產化。