據外媒報導稱，由於種種原因所致，Intel和AMD兩家要在明年才能拿出支持DDR5內存的平台了。三星方面也已經表示，2021年量產DDR5內存，並且使用EUV工藝，製作將會在韓國平澤的新工廠進行，三星同時宣布第一批採用EUV工藝的DDR4內存已經出貨了100萬。

三星表示EUV技術減少了光刻中多次曝光的重複步驟，並提高了光刻的準確度，從而提高性能、提高產量，並縮短了開發時間。三星估計，使用EUV工藝生產DDR5內存，其12英寸D1a晶圓的生產效率會比舊有的D1x工藝的生產力提升一倍。

據悉，三星第四代10nm級（D1a）DRAM或高端14nm級DRAM開始全面導入EUV技術，明年會使用D1a工藝大規模量產DDR5和LPDDR5芯片，預計會使12英寸晶圓廠的生產效率翻倍。

DDR5內存的標準是在2019年發布的，標準帶寬是32GBps，至於這個內存更多的細節，目前還不清楚。