杭州中欣12英寸大矽片下線:可年產240萬填補國內空白
杭州中欣晶圓半導體股份有限公司宣布第一枚12英寸半導體矽拋光片順利下線,這是繼8英寸大大矽片之後該公司取得的又一進度,將改變國內大矽片主要依賴進口的局面。生產矽基芯片需要矽晶圓作為原料,俗稱大矽片,來自台灣、日本、德國、韓國等地的五大公司掌握了全球80%以上的大矽片生產,國內現在只能滿足4-6英寸的大矽片,8英寸以及高端的12英寸大矽片主要依賴進口。
大矽片的技術難度主要在於純度和良率,其中純度要達到99.999999999%,業內稱之為11個9,純度要求非常高,幾乎不能摻雜一點雜質,否則就會影響芯片的性能,這也是為什麼晶圓廠生產開動之後就不能隨意停機的原因,後續工藝中一個不慎就容易影響純度,導致晶圓報廢。
杭州中欣晶圓半導體是國內重點建設的大矽片項目之一,由日本Ferrotec 株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立,2017 年9月28日,杭州中欣晶圓半導體股份有限公司正式落戶杭州錢塘新區,該項目建設有3條8英寸(200mm)、2條12英寸(300mm)半導體矽片生產線。
2018年2月,中欣晶圓大矽片項目開工建設。今年6月30日,中欣晶圓的首批8英寸(200mm)半導體矽拋光片順利下線,8月23日,首台12英寸工藝設備搬入,目前正在進行12 英寸(300mm)矽晶圓產線調試。
根據規劃,中欣晶圓目前已經有月產10萬片8英寸大矽片的能力,12英寸晶圓將在明年初進入量產,12英寸半導體矽片生產線投產後,月產能能達3萬片,並將適時啟動20萬片產能產線的擴產,預計2021年年產240萬片,將大大緩解我國半導體大矽片供應不足的局面。