多名業內人士接受韓聯社電話採訪時表示，21日有一批日本EUV抗蝕劑被空運至韓國。這是日本上月4日對韓採取限貿措施的49天里首批運抵韓國的日產EUV抗蝕劑。

據日本廣播協會（NHK）和共同社的報導，本月初，日本經濟產業省批准了一部分日本企業所提出的允許出口申請。這批產品將運往三星電子華城半導體工廠極紫外光微影生產線。據路透社20日報導，日本政府近日第二次批准了對韓出口EUV抗蝕劑，最多可供三星電子使用9個月，極紫外光微影生產線的開工在短時間內不會出現問題。

據韓聯社消息，目前尚無一家日企獲得高純度氟化氫、氟聚酰亞胺出口許可。業內人士表示，EUV抗蝕劑用於軍事目的的可能性極低，日本政府也沒有限制出口的理由，但仍存在不確定性。

另外，因政府管制阻撓對韓出口，日本材料廠商向三星電子等韓國企業請求配合，並考慮通過第三國出口等各種方案。

據報導，日本經濟產業省此前宣布，從7月4日起對三種出口韓國的半導體材料加強審查與管控。這三種半導體材料是氟聚酰亞胺、抗蝕劑和高純度氟化氫，是智能手機、芯片等產品的重要原材料。其中抗蝕劑對韓國的三星電子非常重要。