美光新加坡Fab 10工廠擴建完成下半年投產96層3D NAND
美光本週在新加坡舉辦了慶祝Fab 10工廠擴建順利完成的儀式。儘管新的潔淨室不會增加該公司每月的晶圓產能,但卻能讓美光技術使用更先進的3D NAND工藝技術,生產具有更高層數和比特位密度的產品。實際上,Fab 10 Expansion是由多個部分組合而成的,包括了此前的Fab 10N和Fab 10X設施。
資料圖(來自:Micron,via AnandTech)
官方指出,新3D NAND生產設施佔地16.5萬平米。至於潔淨室的空間、以及其它擴展功能部分,美光暫未透露。
目前該工廠正在設備安裝階段,預計可在2019 下半年(未來4-5 個月)投產96 層3D NAND 。至於具體的生產安排,將依實際需求而定。
在設備齊全之後,這裡也不會增加任何新的晶圓容量,而是容納更多3D NAND 層數製造所需的、更先進的工藝設備。
據悉,隨著3D NAND 層數的增加,每片晶圓都需要在化學氣相沉積(CVD)機器中耗費更多的時間,意味著蝕刻的工藝流程會被拖得更久。
此外,美光還會運用更多奢侈的生產技術。為了保持晶圓處理數量的一致性,閃存製造商必須在潔淨室中加裝額外的CVD 和蝕刻機,這對設施空間提出了額外的要求。
綜上所述,儘管Fab 10 Expansion 可能不會提升美光新加坡工廠的每月晶圓數量,但確實可在NAND 閃存生產方面實現一定的增長。
最後,除了新的製造工廠,美光還將擴大在新加坡的研發業務。其NAND 卓越中心著力進行技術研發和產品工程,以進一步提升Fab 10 工廠的產能和良率。