日本政府在進行對韓出口限制措施一個月後，審批了對韓國的EUV 光刻膠和蝕刻氣體的出口許可。而韓國國內對此有著不同判斷，有些認為是作秀給國際社會看，而有些認為這是讓步。業界暫未能做出判斷，選擇持續關注事態發展。

日本政府實施對韓出口限製過了35天的8月8日，日本政府審批了EUV光刻膠和蝕刻氣體的出口，得到審批的材料將供應至三星電子。EUV光刻膠或將出貨至三星電子EUV製程華城工廠，蝕刻氣體則出貨至中國西安工廠。

出口限制舉措僅過一個月的時間點上，對日本此舉的韓國言論猜測紛紛。漢陽大學Park Jaegeun教授認為：韓國加速進行國產化後，已經影響至日本企業。雖然EUV光刻膠的90%都由日本生產，但30~40%基本是在韓國消耗，日本政府是為保護本土企業而選擇此舉。而INHA大學的國際通商學Jung Ingyo教授認為：日本做出計劃調整是施壓韓國重新進行強制勞工的協商，與其說是應對韓國國產化，更應該是說日本為加強名分而做出的意圖。

而韓國也有許多言論認為日本的舉措還將持續至年底。業界人士認為若真是讓步，肯定是撤銷除名白名單。

雖然對日本此舉的看法不一，但大體都認為要持續關注事態發展。設備相關人士認為，僅憑一次的措施，很難判斷未來走向。若是因日本讓步淡忘國產化，未來還將面臨相同危機。

韓國政府對日本讓步依然堅持國產化措施。Lee Nakyeon總理在當天的國情現況評估調整會議上表示：日本首次審批了出口限製品類之一的EUV光刻膠出口，政府將繼續努力讓日本的經濟攻擊恢復原態。

韓國政府也藉此機會放緩和觀察事態發展。政府相關人士對此次的出口許可評論：認為是日本看到韓國加速準備WTO訴訟後作為應對措施進行出口許可審批。主要是為了’並非是經濟報復’的名分。

產業通商資源部在當日保留了將日本提出白名單的“戰略物資出口申報”修正方案。產業部在8月8日召開戰略物資出口申報修正方案討論會議，但最終認為細節內容和實行時機依然需要調節，並表示最終發布方案和時機將在隨後進行決定。

也有評論認為，雙方關係進入到緩和期，韓國應該謹慎進行對日本的剔除白名單舉措。國立外交院經濟通商研究部教授Lee Hyoyeong認為：韓國對日本實施剔除白名單相當於是反擊，若真的實施時國際言論上反而會受到影響，剔除白名單舉措需要慎重考慮。