台積電:3nm EUV工藝進展順利已開始接觸早期客戶
儘管10 nm以下芯片製造工藝的突破已經愈加艱難,但以台積電為代表的業內領先企業,並沒有因此而放緩研發的步伐。該公司上週表示,其3nm工藝的開發進展順利。目前看來,台積電已經摸清了道路,且已經開始接觸早期客戶。在面向投資者和金融分析師的電話會議上,台積電首席執行官兼聯合主席CC Wei宣布了這一消息。
(圖自:TSMC,via AnandTech)
他表示:“我司在N3 節點的技術開發上進展很順利,並且已經與早期客戶就技術定義進行了接觸。我們希望3nm 製程可進一步加大台積電在未來的行業領導地位”。
因N3 技術仍處於早期開發階段,台積電目前尚未談及具體的特徵、及其相較於N5 的優勢。該公司稱已評估所有可能的晶體管結構選項,並未客戶提供了非常好的解決方案。
N3 規范正在開發之中,台積電相信它將滿足其業內領先的合作客戶的要求。事實上,台積電已確認N3 將是全新的工藝,而不是N5 的簡單改進或迭代。
作為該公司主要競爭對手之一的三星,則計劃採用3nm(3GAAE)技術。同時可以肯定的是,台積電3nm節點將同時使用深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻設備。
由於台積電的N5 工藝使用了14 層EUV,因此N3 使用的層數可能會更高。作為全球最大的半導體合約製造商,其似乎對EUV 的進展感到非常滿意,並認為該技術對其未來的發展至關重要。