ASML新任CEO近日公開表示，兩台High NA EUV光刻機（單一設備的售價約3.5億美元）已經在英特爾安裝完成了。作為目前全球最先進，也是最昂貴的光刻機，ASML寶石，High NA EUV光刻機不太可能像最初的EUV光刻機那樣出現延遲。

“我們只能期待它相對快速地推出和採用，因為High NA EUV光刻機更像是EUV光刻機的“升級款”，而不是一個全新的產品。”

有趣的是，台積電以成本為由，遲遲不肯接受High NA。在外界看來，這有點像是台積電的談判遊戲，也許是在跟ASML爭奪更好的條件。

這台EUV已於去年底運抵其位於俄勒岡州的D1X工廠，英特爾計劃在2025年底開始使用該系統進行生產。