九峰山實驗室8吋矽光薄膜鈮酸鋰光電整合晶圓下線
湖北九峰山實驗室近日宣布,全球首片8寸矽光薄膜鈮酸鋰光電整合晶圓在九峰山實驗室下線。據悉,矽光薄膜鈮酸鋰光電整合晶圓為目前全球矽基化合物光電整合最先進技術,此成果可實現超低損耗、超高頻寬的高階光晶片規模製造,為目前全球綜合性能最優的光電整合晶片。
薄膜鈮酸鋰由於出色的性能在濾波器、光通訊、量子通訊、航空航天等領域均發揮重要作用。但鈮酸鋰材料脆性大,大尺寸鈮酸鋰晶圓製備製程困難,鈮酸鋰微納加工製備製程也一直被視為挑戰。
目前,業界對薄膜鈮酸鋰的研發也主要集中在3吋、4吋、6吋晶圓的製備及片上微納加工製程。
九峰山實驗室製程中心基於8吋SOI矽光晶圓鍵合8吋鈮酸鋰晶圓,單晶片整合光電收發功能,成功破解了這個難題。
九峰山實驗室表示,近年來,由於5G通訊、大數據、人工智慧等產業的強力驅動,光子整合技術得到極大關注。
鈮酸鋰以其大透明窗口、低傳輸損耗、良好的光電/ 壓電/ 非線性等物理性能以及優良的機械穩定性等被認為是理想的光子集成材料,而單晶薄膜鈮酸鋰則為解決光子整合晶片領域長期存在的低傳輸損耗、高密度整合以及低調製功耗需求提供了迄今為止綜合性能最優的解決方案。
據悉,湖北九峰山實驗室於2021年由湖北省人民政府正式批復組建,實驗室面向世界科技前沿,面向國民經濟主戰場和國家重大需求,以建設先進的化合物半導體研發和創新中心為願景,在中國光谷建立起全球一流的化合物半導體製程、檢測基礎設施,打造公共、開放、共享的研究平台。